随着现代电子工业的发展，空气中的微小污染物成为了制程良率和设备寿命的重要影响因素。AMC空气分析仪作为半导体行业中常用的一种检测仪器，具有高灵敏度、高准确度、快速反应等特点，被广泛应用于生产线上的空气质量控制。空气分析仪的工作原理基于质谱技...

溶解氧分析仪是一种用于测量水中溶解氧含量的精密测试设备，广泛应用于水质监测、环境保护、水产养殖等领域。它可以通过电化学或光谱法等技术，测量水体中氧气分子的浓度，并将数据显示在仪表上。分析仪的操作简单，测试结果准确可靠，是实验室和生产线上重要...

光声检测器是一种利用光声效应进行检测的仪器。它可以通过激光或其他光源产生的光脉冲激发物体表面的声波，进而检测出物体的形状、大小、密度等参数。检测器具有高分辨率、无损检测、快速响应等优点，在医学、材料科学、工业制造等领域得到广泛应用。光声检测...

示踪气体是在研究空气流动时可以与空气混合的气体的总称，可以在非常低的浓度下测量而本身没有任何变化。示踪气体包括氯仿、二氧化氯、过氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡气和汞。由于示踪气体的总量非常小，它们的变化范围可能非常大。空气成分中变化最大...

傅立叶红外光谱仪是利用物质对不同波长的红外辐射的吸收特性，进行分子结构和化学组成分析的仪器。通常由光源，单色器，探测器和计算机处理信息系统组成。根据分光装置的不同，分为色散型和干涉型。对色散型双光路光学零位平衡红外分光光度计而言，当样品吸收...

实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来危害，尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展，已经减少了长时间持续实时监测，而实际上AMC空气分析仪对空气分子污染（AMC）的实...