CF4 光声光谱气体分析仪

检测需求：

洁净室需要控制污染物水平。准确、可靠和低维护成本的洁净室气态分⼦污染物AMC控制可以显著的提升产能。

可靠的监测：

高灵敏度的DKG ONE-CF₄可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，直接吸收式的检测因其零背景的性质，可保证长期高稳定性。

超灵敏光学悬臂梁麦克风

技术应用：

DKG ONE-CF₄分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量⼦级联激光（QCL）光源，工作于CF₄的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了⾜够的灵敏度可以无时延的探测最微小浓度的CF₄溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个⽉甚⾄几年，大大减低了总体持有成本。

优势：

准确、可靠和低维护成本的洁净室污染控制

快速的响应时间，以捕捉浓度突然上升

独立运行系统，内置气体交换泵

无耗材或者化学试剂

短光程，单点校准也可达到突出的动态量程

直接吸收测量，无漂移

校准间隔长（可达数年）

高选择性，不受乙醛和其他VOC的⼲扰

特点：

高选择性的监测痕量水平的CF₄

检测下限(LoD)低于0.1 ppb

响应时间可设置，从3秒到3分钟

动态范围宽，运行稳定

无耗材

低样品量

内置气体交换系统

重新校准间隔长（几个月）

直观的用户界面

内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果

可通过局域网远程操作

机箱选项：

实时在线分析

DKG ONE-CF₄为用户提供简洁直观的用户界面，包括一块高分辨率的显示屏和一个旋转按钮。

便携操作

可选的便携式外箱适用于可预见泄漏区域的检测。

移动式整合方案

几个DKG ONE-CF₄单元可以整合在同一个监测系统。

技术原理

工作原理：红外光声光谱

超灵敏光学麦克风，基于微电机悬臂传感器，结合激光干涉仪测量悬臂梁的微观运动

光源：分布式反馈量子级联激光

样品池温度稳定于50℃

检测参数

响应时间：根据通道积分时间(C.I.T.)和气体 置换周期，典型从3秒到3分钟

检测限：0.1ppb

动态量程：典型5级(100,000倍检测限)

重复性：小于1%的测量值，在工作条件标准浓 度下

准确度：取决于校准浓度标准气体的精度，典型2～5 %

温度稳定性：在温度工作范围内无影响

压力稳定性：在压力工作范围内无影响

通用

19"3 U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：约13kg

内置7"前置显示器的嵌入式计算机

数据存储容量足够至少1年的连续监测

总采气量：10～30ml

后面板有四路气体接口，两路为采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器

供电：

输入电压：100～240VAC，50～60 Hz

输入功率：100～200 W（根据具体要求而定）

通讯接口：Ethernet、USB

DKG ONE-CF₄可以通过智能手机，平板，电脑或者另一台DKG ONE-CF₄（即将推出)远程控制

环境

运行条件

温度范围：0℃～+49℃

湿度：无凝露

压力：750mbar～1050 mbar

防尘/水等级：IP20(IEC 529)

储存条件

温度范围：-20℃～+60℃

样品气体条件

温度范围：0℃～+49℃

湿度：无凝露，温度达35°C时最大相对湿度80%，

温度达49°C时线性下降至35%

压力：750 mbar～1050 mbar

气流：约1L/min

颗粒物<1μm

标准：

符合低电压指令2014/35/EU，EMC指令2004/108/EC和ROHS 2指令2011/65/EU