CF4气体分析仪

CF4气体分析仪GASERA ONE 概述

GASERA ONE多气体分析仪基于激光光声光谱技术，拥有探测器和光源，广泛应用于科研、工业和其他领域；其中探测器是超高灵敏度的增强型悬臂梁光学麦克风技术。

CF4气体广泛应用于半导体制造、环境监测及工业安全等领域。光声光谱技术通过检测气体吸收光能后产生的声信号，实现高灵敏度、高稳定性的CF4浓度测量。

CF4气体分析仪GASERA ONE-解决方案

通过选择最佳的光源类型，GASERA ONE适合多种应用需求；

对于更复杂的测量方案，几个GASERA ONE可联用为应用提供一个简单解决方案。

CF4气体分析仪GASERA ONE-操作

GASERA ONE为用户提供了一个简单而直观的高分辨率显示器和控制按钮。此外，用户可以通过智能手机，平板电脑或其它设备控制GASERA ONE。

CF4气体分析仪GASERA ONE-技术

工作原理：激光光声光谱

超灵敏MEMS悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉仪测量悬臂梁微量位移

根据应用需求配置光源，如灵敏度和气体成分种类

合适的光源包括可调谐半导体激光器(TDL)，量子级，联激光器(QCL)，外腔式量子级联激光器(EC-QCL)，带间级联激光器，(ICL)，光学参量振荡器 (OPO)，带滤光片的宽带红外光源(NDIR)

气室恒定温度50℃

CF4气体分析仪GASERA ONE-通用

19"3 U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：约13kg

内置7"前置显示器的嵌入式计算机

数据存储容量足够至少1年的连续监测

总采气量：10～30ml

后面板有四路气体接口，两路为采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器

供电：

输入电压：100～240VAC，50～60 Hz

输入功率：100～200 W（根据具体要求而定）

通讯接口：Ethernet、USB

GASERA ONE可以通过智能手机，平板电脑,笔记本 电脑或另一个GASERA ONE来操作

CF4气体分析仪GASERA ONE-环境

工作条件:

温度范围：0℃～ + 40℃

湿度：低于90%RH,无凝露

压力范围：大气压

防护等级：IP20(IEC 529)

储存条件：

温度范围：-20℃～ + 60℃

采样条件：

温度：0～ + 49℃

湿度：无凝露

气体流量：约1L/min

压力：930mbar～1100mbar

微粒< 1μm

CF4气体分析仪GASERA ONE-检测参数

响应时间：根据通道积分时间(C.I.T.)和气体 置换周期，典型从5秒到几分钟

检测限：0.1ppb

动态量程：典型5级(100,000倍检测限)

重复性：小于1%的测量值，在工作条件标准浓 度下

准确度：取决于校准浓度标准气体的精度，典型2～5 %

温度稳定性：在温度工作范围内无影响

压力稳定性：在压力工作范围内无影响